التعقيم بالبخار هو وضع المنتج في خزانة تعقيم. يُطلق البخار عالي الحرارة بسرعة نجومًا حرارية، مما يُسبب تخثر بروتين البكتيريا وتحلله لتحقيق الغرض من التعقيم. يتميز التعقيم بالبخار النقي بنفاذية عالية. تتحلل البروتينات والغرويات البروتوبلازمية وتتخثر في الظروف الحارة والرطبة. يُدمر نظام الإنزيم بسهولة. يدخل البخار إلى الخلايا ويتكثف في الماء، مما يُطلق حرارة كامنة ترفع درجة الحرارة وتُعزز فعالية التعقيم.
تتميز معدات مولد البخار بتعقيم عالي الحرارة وسريع. باستخدام دورة الماء للتعقيم، يُسخّن الماء في خزان التعقيم مسبقًا إلى درجة الحرارة المطلوبة للتعقيم، مما يُقلل وقت التعقيم ويُحسّن كفاءة العمل. كما يُوفّر الطاقة ويزيد الإنتاج. يُمكن إعادة تدوير وسيط العمل المُستخدم في عملية التعقيم، مما يُوفّر الطاقة والوقت واستهلاك القوى العاملة والموارد المادية، ويُخفّض تكاليف الإنتاج. أثناء التعقيم، يُستخدم الخزانان بالتناوب كخزاني تعقيم، مما يزيد من الإنتاج في آنٍ واحد. بالنسبة لمنتجات التغليف المرنة، وخاصةً التغليف الضخم، تكون سرعة اختراق الحرارة سريعة وتأثير التعقيم ممتازًا.