Sterîlîzasyona bi buharê ew e ku berhem di kabîneyek sterîlîzasyonê de were danîn. Buhara germahiya bilind bi lez stêrkên germê berdide, ku dibe sedema ku proteîna bakterî bihele û denatur bibe da ku bigihîje armanca sterîlîzasyonê. Taybetmendiya sterîlîzasyona bi buhara paqij ew e ku ew xwedî şiyana derbasbûnê ya xurt e. Proteîn û koloidên protoplazmîk di bin şert û mercên germ û şil de têne denatur kirin û koagul kirin. Sîstema enzîmê bi hêsanî tê hilweşandin. Buhar dikeve nav şaneyan û dibe av, ku dikare germahiya potansiyel berde da ku germahiyê zêde bike û hêza sterîlîzasyonê zêde bike.
Taybetmendiyên alavên jeneratora buharê: germahiya bilind û sterîlîzasyona demkurt. Bi karanîna gerandina avê ji bo sterîlîzasyonê, ava di tanka sterîlîzasyonê de pêşwext digihîje germahiya pêwîst ji bo sterîlîzasyonê, bi vî rengî dema sterîlîzasyonê kurt dibe û karîgeriya kar baştir dibe. Enerjiyê teserûf dike û hilberînê zêde dike. Medyaya xebatê ya ku di pêvajoya sterîlîzasyonê de tê bikar anîn dikare were vegerandin, enerjî, dem û xerckirina çavkaniyên mirovî û materyalê teserûf dike, û lêçûnên hilberînê kêm dike. Di dema sterîlîzasyonê de, her du tank bi dorê wekî tankên sterîlîzasyonê têne bikar anîn, ku di heman demê de hilberînê zêde dike. Ji bo hilberên pakkirina nerm, nemaze pakkirina giran, leza derbasbûna germê zû ye û bandora sterîlîzasyonê baş e.