Стерилизација паром подразумева стављање производа у ормар за стерилизацију. Пара високе температуре брзо ослобађа топлотне звезде, што узрокује коагулацију и денатурацију бактеријских протеина како би се постигао циљ стерилизације. Карактеристика чисте стерилизације паром је јака пенетрабилност. Протеини и протоплазматични колоиди се денатуришу и коагулирају под врућим и влажним условима. Ензимски систем се лако уништава. Пара улази у ћелије и кондензује се у воду, што може ослободити потенцијалну топлоту, повећавајући температуру и побољшавајући снагу стерилизације.
Карактеристике опреме за генератор паре: стерилизација на високој температури и кратко време. Користећи циркулацију воде за стерилизацију, вода у резервоару за стерилизацију се унапред загрева на температуру потребну за стерилизацију, чиме се скраћује време стерилизације и побољшава ефикасност рада. Уштеда енергије и повећање производње. Радни медијум који се користи у процесу стерилизације може се рециклирати, што штеди енергију, време и потрошњу радне снаге и материјалних ресурса, и смањује трошкове производње. Током стерилизације, два резервоара се наизменично користе као резервоари за стерилизацију, што истовремено повећава производњу. За флексибилне производе за паковање, посебно за гломазно паковање, брзина продирања топлоте је велика, а ефекат стерилизације је добар.