Yn ôl EN285, gellir cynnal y prawf canfod aer i wirio a yw'r aer wedi'i eithrio'n llwyddiannus.
Mae dau ffordd i gael gwared ar aer:
Dull rhyddhau i lawr (disgyrchiant) – Gan fod stêm yn ysgafnach nag aer, os caiff stêm ei chwistrellu o ben y sterileiddiwr, bydd yr aer yn cronni ar waelod y siambr sterileiddio lle gellir ei ryddhau.
Y dull rhyddhau gwactod gorfodol yw defnyddio pwmp gwactod i gael gwared ar yr aer yn y siambr sterileiddio cyn chwistrellu stêm. Gellir ailadrodd y broses hon sawl gwaith i gael gwared ar gymaint o aer â phosibl.
Os yw'r llwyth wedi'i becynnu mewn deunydd mandyllog neu os gall strwythur y ddyfais ganiatáu i aer gronni (er enghraifft, dyfeisiau â lumenau cul fel gwellt, canwlâu), mae'n bwysig iawn gwagio'r siambr sterileiddio, a dylid trin yr aer gwacáu yn ofalus, gan y gallai gynnwys sylweddau peryglus y gellir eu lladd.
Dylid hidlo'r nwy puro neu ei gynhesu'n ddigonol cyn ei awyru i'r atmosffer. Mae aer gwacáu nad yw'n cael ei drin wedi'i gysylltu â chyfraddau uwch o glefyd nosocomial mewn ysbytai (clefydau nosocomial yw'r rhai sy'n digwydd mewn lleoliad ysbyty).
4. Mae chwistrellu stêm yn golygu, ar ôl chwistrellu stêm i'r sterileiddiwr o dan y pwysau gofynnol, ei bod yn cymryd cyfnod o amser i'r siambr sterileiddio gyfan a'r llwyth gyrraedd y tymheredd sterileiddio. Gelwir y cyfnod hwn yn "amser ecwilibriwm".
Ar ôl cyrraedd y tymheredd sterileiddio, cedwir y siambr sterileiddio gyfan mewn parth tymheredd sterileiddio am gyfnod o amser yn ôl y tymheredd hwn, a elwir yn amser dal. Mae gwahanol dymheredd sterileiddio yn cyfateb i wahanol amseroedd dal lleiaf.
5. Oeri a dileu stêm yw bod yr stêm yn cyddwyso ac yn cael ei rhyddhau o'r siambr sterileiddio drwy'r trap stêm ar ôl yr amser dal. Gellir chwistrellu dŵr di-haint i'r siambr sterileiddio neu gellir defnyddio aer cywasgedig i gyflymu'r oeri. Efallai y bydd angen oeri'r llwyth i dymheredd ystafell.
6. Sychu yw gwactodu'r siambr sterileiddio i anweddu'r dŵr sy'n weddill ar wyneb y llwyth. Fel arall, gellir defnyddio ffan oeri neu aer cywasgedig i sychu'r llwyth.